一种用于制备显示器的衬底

摘要

本发明公开了一种多晶硅薄膜材料及其制备方法。本发明首先在衬底的一个表面上制备P型非晶硅薄膜，经退火晶化成多晶硅薄膜后进行N-掺杂工艺，从而形成适用于太阳能电池的多晶硅薄膜，然后在衬底的另一个表面上制备非晶硅薄膜，对其晶化以获得适用于显示器的多晶硅薄膜，这样，在衬底的正反两个表面上就集成了适用于太阳能电池和适用于显示器的多晶硅薄膜。

主权项

一种用于制备显示器的衬底，包括在其一个表面上制备成的适用于太阳能电池的第一多晶硅薄膜材料层和在其另一个表面上制备成的适用于显示器的第二多晶硅薄膜材料层，其中第一多晶硅薄膜材料层具有1‑5微米厚并且具有PN结，第二多晶硅薄膜材料层具有30‑100纳米厚，并且在衬底表面和第二多晶硅薄膜材料层之间具有0.1‑1微米厚的阻挡层。