空气槽分束法布里-珀罗谐振腔耦合激光器

摘要

本发明公开了一种空气槽分束法布里-珀罗谐振腔耦合激光器。法布里-珀罗谐振腔是由与有源波导倾斜、可填充介质的空气槽，两个波导和两个高反镜组成；一个波导与有源波导同轴分别位于空气槽的两侧；两个波导与空气槽之间夹角相等，位于空气槽同侧，并与空气槽连接端口处部分重合；高反镜分别设置于两个波导的非空气槽连接端口。或者再在两个波导上覆盖调谐电极和在有源波导覆盖相位匹配电极。本发明通过空气槽对光的反射和透射进行分束。附加两根波导构成法布里-珀罗谐振腔进行选模，具有自由光谱范围大且制造难度低。通过调节波导的光学长度，可对激光器输出波长大范围调谐。这种激光器可单纵模运转。

主权项

一种空气槽分束法布里‑珀罗谐振腔耦合激光器，它包括一个提供增益的有源波导(1)，一个产生梳状反射谱的法布里‑珀罗谐振腔(2)和一个反射镜(5)；其特征在于：所述法布里‑珀罗谐振腔(2)是由一个与有源波导(1)的倾斜夹角为30°～70°的、里面填充空气或低折射率介质的、用于将有源波导(1)内产生的光部分透射进法布里‑珀罗谐振腔(2)的、未被透射的光部分反射损失掉的空气槽(21)，第一波导(23)，第二波导(24)，第一高反镜(25)和第二高反镜(26)组成；第一波导(23)与有源波导(1)同轴放置，分别位于空气槽(21)的两侧；第二波导(24)和第一波导(23)与空气槽(21)之间夹角相等，位于空气槽(21)同侧；第二波导(24)与空气槽(21)的连接端口和第一波导(23)与空气槽(21)的连接端口部分重合；第一高反镜(25)和第二高反镜(26)分别设置于第一波导(23)和第二波导(24)的非空气槽连接端口处。