增强排气型复合分子泵

摘要

本发明涉及一种增强排气型复合分子泵，涉及真空技术领域，包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子，转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成，光轴与转子体连接，转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方，螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子，增强排气级转子为光板；涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片，螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子，增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。并汇集了拖动气体分子运动和涡轮分子的原理，通过这种结构设计达到具有大抽速、高真空能力和增大排气能力的复合分子泵，该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。

主权项

一种增强排气型复合分子泵，包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子，所述的转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成，所述的光轴与转子体连接，转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方，螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子，增强排气级转子为光板；涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片，螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子，增强排气级转子两侧设有增强排气级定子，其特征在于增强排气型复合分子泵是以盘式牵引分子泵作为排气级，增强排气级定子是盘式牵引分子泵原理的螺旋形牵引风流槽。