| 发明名称 | 靶材组件的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种靶材组件制作方法，其中靶材制作方法包括，提供焊接材料，所述焊接材料包括靶材坯料和背板；比较靶材坯料和背板的硬度，对硬度比较高的焊接材料进行机械加工，对靶材坯料进行清洗处理，对所述背板进行清洗处理；将所述靶材坯料采用模具固定，利用扩散焊接将靶材坯料与背板焊接形成靶材组件。本发明能够降低制备投入，制备靶材组件过程中铝或者铝合金等金属靶材坯料不会变形，制作的靶材组件长久耐用。 | ||
| 申请公布号 | CN101543935B | 申请公布日期 | 2012.02.22 |
| 申请号 | CN200910127246.4 | 申请日期 | 2009.03.12 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;欧阳琳;王学泽;刘庆 |
| 分类号 | B23K20/00(2006.01)I;B23K20/24(2006.01)I;B23K20/26(2006.01)I;C23G5/02(2006.01)I;C22C21/00(2006.01)I;C22C21/02(2006.01)I;C22C21/12(2006.01)I;C21D9/50(2006.01)I;C21D11/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B23K103/10(2006.01)N | 主分类号 | B23K20/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：提供焊接材料，所述焊接材料包括靶材坯料和背板，所述靶材坯料为铝或铝合金；比较靶材坯料和背板的硬度，对硬度比较高的焊接材料进行机械加工，对靶材坯料进行清洗处理，对所述背板进行清洗处理；将所述靶材坯料采用模具固定，所述模具形状为能固定所述靶材坯料的中空结构，且所述采用模具固定的工艺参数为：将模具放入加热炉中升温到200℃至300℃，并保温0.5小时至1小时；将靶材坯料放入加热炉中升温到200℃至300℃，并保温0.5小时至1小时，利用模具固定住靶材坯料；利用扩散焊接将靶材坯料与背板焊接形成靶材组件。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 | ||