| 发明名称 | 实现拾取和翻转芯片的装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种实现拾取和翻转芯片的装置，该装置利用翻转电机通过翻转电机连接套直接驱动吸头装置运动，从而实现芯片翻转，翻转杆内部的通孔与导向杆、吸杆、吸嘴的轴孔共同构成真空通道，外部气路通过气管接头和该真空通道作用于吸嘴端部，来进行芯片吸取。本发明由于采用翻转电机直接驱动吸头装置运动，具有结构简单、体积小、工作可靠、成本低等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101710565B | 申请公布日期 | 2012.02.22 |
| 申请号 | CN200910217905.3 | 申请日期 | 2009.11.24 |
| 申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 张德龙;吴玉彬;宋志;常丰吉;田学光 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人 | 王淑秋 |
| 主权项 | 一种实现拾取和翻转芯片的装置，其特征在于包括翻转电机固定板(21)，翻转电机(20)，翻转电机连接套(22)，吸头装置(14)；所述的翻转电机固定在翻转电机固定板(21)上；所述的吸头装置(14)包括翻转杆(13)，吸头座(26)，导向杆(27)，芯片保护弹簧(28)，吸杆(25)，吸嘴(24)；翻转电机(20)的转轴通过翻转电机连接套(22)与翻转杆(13)连接；吸头座(26)通过止口与翻转杆(13)定位和连接；导向杆(27)的上部位于吸头座(26)的空腔内，其下部由吸头座(26)下端的通孔伸出，并且导向杆与吸头座(26)接触部分有导向面；芯片保护弹簧(28)套装在导向杆(27)上，其上端与翻转杆(13)相接触，下端卡在导向杆(27)的台肩处；吸杆(25)的上部与导向杆(27)的下部固定连接，并且吸杆(25)的下端固定有吸嘴(24)；翻转杆(13)内部的通孔(131)与导向杆(27)、吸杆(25)、吸嘴(24)的轴孔共同构成真空通道，并且翻转杆(13)内部的通孔(131)与翻转杆上安装的气管接头(23)相通。 | ||
| 地址 | 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 | ||