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发明名称
摘要
申请公布号 JP4880831(B2) 申请公布日期 2012.02.22
申请号 JP20010192511 申请日期 2001.06.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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