| 发明名称 | 具有柔性膜和改进型电致动装置的MEMS结构 | ||
| 摘要 | 一种MEMS结构包括：柔性膜(6)，具有限定纵向(X)的主纵轴(5a)；至少一个支柱(3、3’)，位于柔性膜(6)下面；电降低致动装置(7)，适用于使柔性膜(6)向下弯曲到向下强制状态；电升高致动装置(8)，适用于使柔性膜(6)向上弯曲到向上强制状态。电降低致动装置(7)或者电升高致动装置(8)包括在膜(6)的一部分下面延伸并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3)的两侧上同时对膜(6)施加拉力的致动区(7c或8c)。 | ||
| 申请公布号 | CN102362330A | 申请公布日期 | 2012.02.22 |
| 申请号 | CN201080012592.9 | 申请日期 | 2010.03.18 |
| 申请人 | 德尔福芒斯公司 | 发明人 | K·塞古尼;N·罗尔菲林 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01)I | 主分类号 | H01H59/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 蒋世迅 |
| 主权项 | 一种MEMS结构，包括：柔性膜(6)，具有限定纵向(X)的主纵轴(6a)；至少一个支柱(3、3’)，位于柔性膜(6)下面；电降低致动装置(7)，适用于使柔性膜(6)向下弯曲到向下强制状态；电升高致动装置(8)，适用于使柔性膜(6)向上弯曲到向上强制状态，并且其中电降低致动装置(7)或者电升高致动装置(8)包括在膜(6)的一部分下面延伸并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3)的两侧上同时对膜(6)施加拉力的致动区(7c或8c)。 | ||
| 地址 | 法国阿斯克新城 | ||