驱动-传感一体化压电晶片泵

摘要

本实用新型涉及一种驱动-传感一体化压电晶片泵，至少包括一个晶片型压电振子(压电晶片和金属基板粘接而成)、一个泵体、一个泵盖、一组控制流体运动方向的单向阀以及一个控制电源。其特征在于，所述压电振子中压电晶片表面的电极被分割成驱动单元和传感单元两部分，当所述驱动单元受外加电压作用发生弯曲变形时，所述传感单元压电陶瓷也发生弯曲变形并产生电能，传感单元所生成的电压信号经转换处理后用于表征压电泵的输出压力与流量。本实用新型优势在于：利用同一个晶片型压电振子实现驱动与传感监测两种功能，无需额外的压力及流量测量仪器即可实现压电泵输出性能的在线监测，易于获得精确的输出流量与压力。

主权项

驱动‑传感一体化压电晶片泵，至少包括一个由压电晶片和金属基板粘接而成的晶片型压电振子、一个泵体、一个泵盖、一组控制流体运动方向的单向阀以及一个控制电源；其特征在于，所述压电振子中压电晶片表面的电极被分割成驱动单元和传感单元两部分，当所述压电振子的驱动单元受外加电压作用发生弯曲变形时，所述传感单元压电陶瓷也发生弯曲变形并产生电能；其特征还在于，传感单元生成的电压信号经转换处理后用于表征压电泵的输出压力与流量。