发明名称 Method for forming insulating layer in semiconductor device
摘要
申请公布号 KR101116727(B1) 申请公布日期 2012.02.22
申请号 KR20090057011 申请日期 2009.06.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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