| 发明名称 | 超声波吸气组件 | ||
| 摘要 | 本发明公开了超声波吸气组件，它包括固定板，它还包括通过夹板与所述的固定板固定相连的超声波发生器，安装在所述的超声波发生器上的吸头与真空发生器通过真空气路接头相连通。本发明的优点在于：本组件可以应用到晶体设备中用于晶片的取放，实现了小晶片的良好定位。 | ||
| 申请公布号 | CN102361017A | 申请公布日期 | 2012.02.22 |
| 申请号 | CN201110203347.2 | 申请日期 | 2011.07.20 |
| 申请人 | 天津必利优科技发展有限公司 | 发明人 | 李建平;宗庆斌;陈桂东 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人 | 王丽英 |
| 主权项 | 超声波吸气组件，它包括固定板，其特征在于：它还包括通过夹板与所述的固定板固定相连的超声波发生器，安装在所述的超声波发生器上的吸头与真空发生器通过真空气路接头相连通。 | ||
| 地址 | 300451 天津市塘沽区新北路13号创新创业园13-102 | ||