基于MEMS技术的抗磁粒子三维操纵装置

摘要

一种生命科学技术领域的基于MEMS技术的抗磁粒子三维操纵装置，包括：顺磁性溶液、腔室、永磁体和芯片，所述的芯片包括：基座、负载平台、线圈阵列和弹簧，基座上光刻设有线圈阵列、负载平台和弹簧，弹簧的一端固定在基座上，另一端和负载平台相连，永磁体粘附于负载平台之上，腔室内设有顺磁性溶液，腔室放置于永磁体之上。本发明磁源驱动采用柔性电磁驱动方式，结构简单，采用MEMS工艺，可制成低成本、便携式的片上系统。

主权项

一种基于MEMS技术的抗磁粒子三维操纵装置，其特征在于，包括：顺磁性溶液、腔室、永磁体和芯片，所述的芯片包括：基座、负载平台、线圈阵列和弹簧，其中：抗磁粒子位于顺磁性溶液中，基座上光刻设有线圈阵列、负载平台和弹簧，弹簧的一端固定在基座上，另一端和负载平台相连，永磁体粘附于负载平台之上，腔室内设有顺磁性溶液，腔室放置于永磁体之上。