发明名称 | 衬底传输设备和用于制造磁记录介质的方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种衬底传输设备,其包括:通过闸阀相互连接的室;传输机构,其构造成打开闸阀并在室之间沿着传输路径传输载体;传感器,其构造成在载体到达室中的停止位置之前检测载体;以及控制器,其构造成基于来自传感器的检测信号而使闸阀开始关闭。 | ||
申请公布号 | CN101727920B | 申请公布日期 | 2012.02.22 |
申请号 | CN200910208119.7 | 申请日期 | 2009.10.28 |
申请人 | 佳能安内华股份有限公司 | 发明人 | 萩原到;野泽直之 |
分类号 | G11B5/84(2006.01)I | 主分类号 | G11B5/84(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 张涛 |
主权项 | 一种衬底传输设备,包括:通过闸阀相互连接的第一室和第二室;传输机构,其构造成打开所述闸阀并将载体沿着传输路径从所述第一室传输到所述第二室;传感器,其构造成在从所述第一室通过所述闸阀传输到所述第二室的所述载体到达所述第二室中的停止位置之前检测所述载体;以及控制器,其构造成基于来自所述传感器的检测信号而在从所述第一室通过所述闸阀传输到所述第二室的所述载体到达所述停止位置之前使所述闸阀开始关闭。 | ||
地址 | 日本神奈川 |