| 发明名称 |
Objective lens for a charged particle beam device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1120809(B1) |
申请公布日期 |
2012.02.22 |
| 申请号 |
EP20000101708 |
申请日期 |
2000.01.27 |
| 申请人 |
ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH |
发明人 |
ADAMEC, PAVEL |
| 分类号 |
H01J37/10;G01Q70/10;H01J29/66;H01J37/14;H01J37/141;H01J37/147;H01J37/26;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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