一种低温扫描近场光学显微镜的真空腔

摘要

本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的真空腔，属于近场光学仪器制造领域。该真空腔室分为上下两部分，上部为扫描室，下部为低温杜瓦室。扫描室内设有扫描头，在扫描室的顶部设有顶部法兰，顶端法兰上设置了5个法兰口和升降杆。其中3个法兰口连接包括扫描台、粗逼近马达，音叉以及温度监控等部件的电子线路进出真空腔室的电极法兰；2个法兰口连接包括照明光纤和针尖光纤两路光纤转接法兰。本发明低温近场光学显微镜的扫描头部分可以从真空腔室中独立取出，使得针尖光纤可以在真空腔室外更换。

主权项

一种低温扫描近场光学显微镜的真空腔室结构，其特征在于，该真空腔室分为上下两部分，上部为扫描室，下部为低温杜瓦室，扫描室内设有扫描头，在扫描室的顶端设有一法兰，该法兰上设置了5个法兰口和一升降杆，其中第一法兰口为扫描台的控制电子线路接口；第二法兰口为Z方向粗逼近马达和温度监控电子线路接口；第三法兰口4引出音叉的激振和反馈信号引线；第四法兰口5为照明光纤接口，第五法兰口6为针尖光纤接口，扫描室内的扫描头悬挂在处于上述法兰中心的升降杆下端。