液氩储罐纯度自保护装置

摘要

本实用新型公开了一种液氩储罐纯度自保护装置，其包括：一气源总管，其与氩气管网连接，所述气源总管上沿着氩气的输送方向依次设置有一一级切断阀和一一级减压阀；至少一第一支管，其一端与所述气源总管连接，其另一端对应设于至少一液氩储罐切断阀处，所述至少一第一支管上沿着氩气的输送方向依次设置有一二级切断阀和一二级减压阀；一第二支管，其一端与所述气源总管连接，其另一端与保温层导通，所述第二支管上沿着氩气的输送方向也依次设置有一二级切断阀和一二级减压阀；至少一第三支管，其一端与所述气源总管连接，其另一端对应设于至少一液氩泵处，所述至少一第三支管上沿着氩气的输送方向也依次设置有一二级切断阀和一二级减压阀。

主权项

一种液氩储罐纯度自保护装置，其设置于一液氩系统上，所述液氩系统包括一液氩储罐，一与液氩储罐连接的氩气管网，一设于所述液氩储罐外围的保温层，至少一液氩储罐切断阀，以及至少一液氩泵；其特征在于，所述液氩储罐纯度自保护装置包括：一气源总管，其与所述氩气管网连接，所述气源总管上沿着氩气的输送方向依次设置有一一级切断阀和一一级减压阀；至少一第一支管，其一端与所述气源总管连接，其另一端对应设于所述至少一液氩储罐切断阀处，所述至少一第一支管上沿着氩气的输送方向依次设置有一二级切断阀和一二级减压阀；一第二支管，其一端与所述气源总管连接，其另一端与所述保温层导通，所述第二支管上沿着氩气的输送方向也依次设置有一二级切断阀和一二级减压阀；至少一第三支管，其一端与所述气源总管连接，其另一端对应设于所述至少一液氩泵处，所述至少一第三支管上沿着氩气的输送方向也依次设置有一二级切断阀和一二级减压阀。