一种防止硅沉积的拉晶炉热场

摘要

本发明公开了一种防止硅沉积的拉晶炉热场，在所述的拉晶炉热场中，处于与所述加热器底部端面所对应平面以下的区域中的所述坩埚部件、加热元件和保温部件组成的热场部件的表面或所述的热场部件相互之间的接缝周围放置有石英砂和/或石英片。本发明的防止硅沉积的拉晶炉热场有效地解决了拉晶炉热场硅沉积带来的问题，其结构简单，价格低廉，能够方便地通过对现有技术的热场进行低成本改造来实现。本发明的防止硅沉积的拉晶炉热场尤其适合应用于高温低压的工作环境下，适合应用于硅材料提纯工艺。

主权项

一种防止硅沉积的拉晶炉热场，置于顶部带有炉盖(1)的拉晶炉炉体(6)内部，包括：用于放置硅原料及其熔化后的硅熔液(4)的坩埚部件，由从拉晶炉炉体(6)底部插入的坩埚轴(2)，设在坩埚轴(2)顶部端面上的坩埚托盘(13)，和置于坩埚托盘(13)上的坩埚(3)组成；用于加热坩埚(3)的加热元件，由环绕坩埚(3)外部配置的加热器(5)，放置在拉晶炉炉体(6)底部的铜电极(11)，以及用于连接铜电极(11)和加热器(5)的石墨电极(9)组成；和配置在加热元件外部的保温部件，由环绕加热器(5)外部配置的保温筒(7)，以及分别与保温筒(7)顶部和底部端部相连接的上保温盖板(10)和底部保温层(14)组成；以及设在保温筒(7)顶部用于引导惰性气体流向的导流筒(8)；其特征在于，所述的拉晶炉热场中，处于与所述加热器(5)底部端面(17)所对应平面以下的区域中的所述坩埚部件、加热元件和保温部件组成的热场部件的表面或所述的热场部件相互之间的接缝周围放置有石英砂和/或石英片，所述的石英片为丘克劳斯基法硅晶体生长中所用的石英坩埚破碎后形成的碎片。