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发明名称 ATMOSPHERIC PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR101119863(B1) 申请公布日期 2012.02.22
申请号 KR20077003864 申请日期 2005.08.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/06 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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