用短激光脉冲的定值的丛波的激光微加工

摘要

一组激光脉冲束或丛波是用于微加工目标结构。每个丛波包括短激光脉冲，其具有约小于1纳秒的时序脉冲宽度。激光微加工方法包括产生激光脉冲的丛波和调整一用于加工目标位置的脉冲激光的丛波的波封。该方法包括调整丛波的波封：基于在该目标位置处的第一特征的加工特性，将在该丛波中的一个或多个第一激光脉冲选择地调整成第一振幅；以及基于在该目标位置处的第二特征的加工特性，将在该丛波中的一个或多个第二激光脉冲选择地调整成第二振幅。该方法还包括引导该振幅经调整的激光脉冲的丛波到该目标位置。

主权项

一种激光微加工的方法，其特征在于，包括：产生一激光脉冲的丛波；通过以下方法来调整该激光脉冲的丛波的波封：基于在一目标位置处的第一特征的加工特性，将在该丛波中的一个或多个第一激光脉冲选择地调整成第一振幅；基于在该目标位置处的第二特征的加工特性，将在该丛波中的一个或多个第二激光脉冲选择地调整成第二振幅；以及引导该振幅经调整的激光脉冲的丛波到该目标位置。