数字微镜器件及其形成方法

摘要

一种数字微镜器件及其形成方法，数字微镜器件包括：基底，基底上形成有微镜器件控制电路结构；数字微镜阵列，数字微镜阵列中的每一数字微镜包括反光镜、两个第一极板、两个第二极板；相对设置的两个卡口，卡口固定且与微镜器件控制电路结构电连接，反光镜的两相对侧边可活动设置在卡口内，在反光镜与卡口接触时，卡口与反光镜电连接；在其中一个第一极板和对应的第二极板之间具有电压差时，反光镜在第一极板的带动下向对应的第二极板方向偏转。本技术方案结构简单，反射镜的两相对侧边可活动置于卡口内，这样可以提高数字微镜器件的灵敏度。

主权项

一种数字微镜器件，其特征在于，包括：基底，所述基底上形成有微镜器件控制电路结构；位于所述基底上的数字微镜阵列，数字微镜阵列中的每一数字微镜包括一个反光镜、两个第一极板、两个第二极板；所述两个第二极板位于所述基底上，与所述微镜器件控制电路结构电连接；所述两个第一极板位于所述两个第二极板上方，且分别与所述两个第二极板相对；所述反光镜位于所述两个第一极板上方，且所述反光镜通过第一插栓与两个第一极板电连接；相对设置的两个卡口，所述卡口固定在基底上且与所述微镜器件控制电路结构电连接，所述反光镜的两相对侧边可活动设置在所述卡口内，在所述反光镜与所述卡口接触时，所述卡口与所述反光镜电连接；在其中一个第一极板和对应的第二极板之间具有电压差时，所述反光镜在所述第一极板的带动下向对应的第二极板方向偏转。