光阻聚合物组成物

摘要

本发明有关经由活性自由基聚合技术制备光阻聚合物的方法。采用空间上庞大之酯类单体作为聚合组份。链转移剂之使用包括于聚合处理条件中。描述包括有杂原子之聚合物末端基团的切除。