检验光学镜片清洁度之装置及方法

摘要

本发明提供一种检验光学镜片清洁度之装置，该检验光学镜片清洁度之装置包括光源和液体蒸发装置，该光源位于可将光照射到光学镜片之位置，该液体蒸发装置具有一蒸发口，该蒸发口蒸发出之液体蒸气用于在光学镜片之表面形成薄膜。本发明还提供一种检验光学镜片清洁度之方法，可以检测到该光学镜片表面是否残留有化学物质。