可分离之调变器

摘要

揭示一种分离式调变器架构。该调变器具有一镜由一可挠性层悬吊于一空腔上方。该可挠性层也形成镜之支持体及支持柱。另一种分离式调变器架构有一镜悬吊于一空腔上方。该调变器系由支持体及支持柱所支持。支持柱包含一挠性层于支持柱插塞上方。一汇流排结构可形成于设置于该支持柱上方之可挠性层上。