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发明名称
电晶体、记忆胞元阵列及制造电晶体方法
摘要
本发明提供了积体电路的一种电晶体,该电晶体包括:第一和第二源极/汲极区域;连接第一和第二源极/汲极区域的通道区域;以及经配置成用于控制在该通道中流动的电流的闸电极。该闸电极被设置在限定于半导体基板的顶表面中的闸极槽中。第一和第二源极/汲极区域至少延伸至深度d1,其中该深度d1是从基板的顶表面测量的。闸电极的顶表面以距该顶表面小于深度d1的距离设置在半导体基板顶表面之下。
申请公布号
TWI358821
申请公布日期
2012.02.21
申请号
TW096131743
申请日期
2007.08.27
申请人
奇梦达股份有限公司 德国
发明人
约翰内斯 克鲁格;斯特凡 特根
分类号
H01L27/108;H01L21/8242;H01L21/336
主分类号
H01L27/108
代理机构
代理人
蔡清福 台北市中山区中山北路3段27号13楼
主权项
地址
德国
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