| 摘要 |
本发明的目的在于提供一种无复杂化构成，能够获得稳定且高精密度的搬送性之基板搬送装置。;有关本发明之基板搬送装置(30)系具备有：多关节臂(31)，其一端系设置于基台，另一端系连接于基板支撑用的手部(32)；线性导引件(36)，系导引手部(32)的直线移动；以及皮带驱动机构(38)，系使手部(32)沿线性导引件(36)的导轨(37a)移动。如上所述构成的基板搬送装置(30)系以多关节臂(31)来支撑作用于手部(32)之载重，以线性导引件(36)来确保手部(32)的直进搬送性。因此，由于不需要通过死点用的特别机构故能够防止构成的复杂化。此外，由于载重不会直接作用于线性导引件(36)，所以能够获得高搬送精密度。 |
