形状测量设备，形状测量方法，及曝光设备

摘要

一种用来测量一测量目标物的表面形状的形状测量方法包括将来自一光源的光分成测量光及参考光，该测量光被倾斜地入射到该测量目标物的表面上，该参考光被入射到一参考镜上，将被该测量目标物所反射的该测量光与被该参考镜所反射的该参考光引导至一光电转换元件，在移动该测量目标物的同时用该光电转换元件侦测由该测量光与该参考光所形成的干涉光，及根据由该测量光所得到之干涉讯号来测量该测量目标物的表面形状，该测量光是在该测量目标物的表面上的同一位置处被反射的测量光。