涡轮分子真空泵浦转子钛合金叶片

摘要

本创作系揭露一种涡轮分子真空泵浦转子钛合金叶片，其包含一转子及一静子，该转子包含五个转子叶片组，该静子包含五个静子叶片组，藉由将每一转子叶片组及静子叶片组之叶片数量以及设置角度进行最佳化调整后，可提升涡轮分子泵浦之抽气速度及稳定度，并可减少加工及制造上的困难，此外，转子及静子的叶片系以钛合金为材料制成，藉由钛合金具有高强韧性，可进而增加泵浦的使用寿命。