发明名称 |
用于一半导体装置之成形方法及半导体装置 |
摘要 |
本发明系用于一半导体装置之成形方法,包含下列步骤:形成一导电凸块于一底材之一表面;形成一介电层于导电凸块之一周围表面;设置底材于一基材之一表面,使具有介电层之导电凸块适容置于基材之一通孔;去除底材。所形成之半导体装置便包含基材、半导体积体电路及一导电结构。通孔贯设于基材中,半导体积体电路设置于基材中,导电结构设置于通孔中,以与半导体积体电路电性连接。导电结构包含导电凸块以及介电层。导电凸块之纵向尺寸大于通孔之纵向尺寸。介电层仅包覆于导电凸块之周围表面或更包覆于基材之部分表面上。 |
申请公布号 |
TWI358777 |
申请公布日期 |
2012.02.21 |
申请号 |
TW096149687 |
申请日期 |
2007.12.24 |
申请人 |
南茂科技股份有限公司 新竹县新竹科学工业园区研发一路1号;百慕达南茂科技股份有限公司 百慕达 |
发明人 |
黄祥铭;刘安鸿;李宜璋;蔡豪殷;何淑静 |
分类号 |
H01L21/60;H01L23/528;H01L23/488 |
主分类号 |
H01L21/60 |
代理机构 |
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代理人 |
陈翠华 台北市松山区南京东路3段261号6楼 |
主权项 |
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地址 |
百慕达 |