发明名称 用于一半导体装置之成形方法及半导体装置
摘要 本发明系用于一半导体装置之成形方法,包含下列步骤:形成一导电凸块于一底材之一表面;形成一介电层于导电凸块之一周围表面;设置底材于一基材之一表面,使具有介电层之导电凸块适容置于基材之一通孔;去除底材。所形成之半导体装置便包含基材、半导体积体电路及一导电结构。通孔贯设于基材中,半导体积体电路设置于基材中,导电结构设置于通孔中,以与半导体积体电路电性连接。导电结构包含导电凸块以及介电层。导电凸块之纵向尺寸大于通孔之纵向尺寸。介电层仅包覆于导电凸块之周围表面或更包覆于基材之部分表面上。
申请公布号 TWI358777 申请公布日期 2012.02.21
申请号 TW096149687 申请日期 2007.12.24
申请人 南茂科技股份有限公司 新竹县新竹科学工业园区研发一路1号;百慕达南茂科技股份有限公司 百慕达 发明人 黄祥铭;刘安鸿;李宜璋;蔡豪殷;何淑静
分类号 H01L21/60;H01L23/528;H01L23/488 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 陈翠华 台北市松山区南京东路3段261号6楼
主权项
地址 百慕达