用于处理基板之处理腔室的装置以及引导基板进入处理腔室之方法

摘要

本发明提供一种引导基板进入处理腔室之系统与方法。用于制造一半导体或一平板显示器之装置中之一台上存在基板或不存在基板可藉由用于装载与卸载基板之若干起模顶杆确定，可防止引导入另一基板，且可检测该基板之破损状态或其错误装载状态。亦可确定一闸门阀之打开状态或关闭状态，且在该闸门阀关闭时可防止引导另一基板进入该处理腔室。