基板转移系统及转移方法

摘要

一种基板转移系统，用于将位于装载位置之基板转移至卸料位置，该基板转移系统包括：第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、第四驱动装置、及一控制器，该控制器控制该第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置及第四驱动装置，使得该第一吸附装置与第二吸附装置交替吸附位于装载位置之基板并将吸附之基板交替转移至卸料位置放下。本发明还涉及一种基板之转移方法。