发明名称 对准装置及其应用
摘要 本发明揭露一种对准装置及其应用。上述对准装置包含:一坝状结构置于一第一基底上,上述坝状结构具有一沟槽;以及一柱状结构置于一第二基底上,其位置是对应上述坝状结构,其中当接合上述第一基底与上述第二基底时,上述柱状结构是置于上述坝状结构的上述沟槽中。
申请公布号 TWI358618 申请公布日期 2012.02.21
申请号 TW097108151 申请日期 2008.03.07
申请人 采钰科技股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区笃行一路12号;豪威科技股份有限公司 美国 发明人 李孝文
分类号 G03F9/00;H01L21/027 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 美国
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