发明名称 |
对准装置及其应用 |
摘要 |
本发明揭露一种对准装置及其应用。上述对准装置包含:一坝状结构置于一第一基底上,上述坝状结构具有一沟槽;以及一柱状结构置于一第二基底上,其位置是对应上述坝状结构,其中当接合上述第一基底与上述第二基底时,上述柱状结构是置于上述坝状结构的上述沟槽中。 |
申请公布号 |
TWI358618 |
申请公布日期 |
2012.02.21 |
申请号 |
TW097108151 |
申请日期 |
2008.03.07 |
申请人 |
采钰科技股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区笃行一路12号;豪威科技股份有限公司 美国 |
发明人 |
李孝文 |
分类号 |
G03F9/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |