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发明名称
透过一薄膜镀膜来分析表面起伏的三角测定方法与系统
摘要
一种装置,包括一微影系统、一定位器、一光映机、一光学系统及一处理器。微影系统是设计用以对于具有一第一光线图案之一物件之一部分进行照明,微影系统包括一参考表面,物件包括一基底与一被覆薄膜。定位器是用以对于微影系统与物件之间的一相对位置进行改变。光映机是用以将一第二光线图案投射至物件之被覆薄膜之上。光学系统是用以对于第二光线图案之光线进行成像,第二光线图案之光线受到基底作用而扩散散射。处理器是设计为基于扩散散射光线以决定物件之一光学性质,以及操作定位器以改变微影系统与物件之间之相对位置。
申请公布号
TWI358614
申请公布日期
2012.02.21
申请号
TW093127843
申请日期
2004.09.15
申请人
赛格股份有限公司 美国
发明人
彼得J DE 古鲁特;塞维尔 柯隆纳 迪 雷加
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址
美国
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