用于转移基板的单元与方法及用于以该单元处理基板的设备与方法

摘要

本发明有关一用于转移基板之方法。该方法包含藉着一转移单元，于彼此直立地隔开设置之第一支撑板及在一横侧方向中并列地配置的第二支撑板之间同时地转移二基板。该转移单元包含一顶部叶片及一底部叶片，并可转变成它们直立地面朝彼此设置的一摺叠状态、及它们在一预设角度于相反方向中旋转的一展开状态。该转移单元在该摺叠状态之下将一基板放在该第一支撑板上/自该第一支撑板取出该基板，且在该展开状态之下将一基板放在该第二支撑板上/自该第二支撑板取出该基板。