乙烯基4–四氢喃氧亚基–乙烯基4–羟基亚基–乙烯基四氢喃基醚–乙酸乙烯酯共聚物,乙烯基4–四氢喃氧亚基–乙烯基四氢喃基醚–乙酸乙烯酯共聚乙烯酯共聚

摘要

乙烯基4一四氢喃氧亚基一乙烯基4一羟基亚基-乙烯基四氢喃基醚一乙酸乙烯酯共聚物，乙烯基4-四氢喃氧亚基一乙烯基四氢喃基醚一乙酸乙烯酯共聚物及其制法本发明提供一种乙烯基4一四氢喃氧亚基-乙烯基4一羟基亚基一乙烯基四氢喃基醚一乙酸乙烯酯共聚物，乙烯基4一四氢喃氧亚基一乙烯基四氢喃基醚-乙酸乙烯酯共聚物及其制法。因为此共聚物在深uv区域光学吸收非常低，所以其具有非常优良的透明性。除此之外，在主干和取代基中的缩醛结构使得此共聚物光阻剂具有优良的乾式蚀刻阻抗性。

主权项

1.一种乙烯基4一四氢喃氧亚基-乙烯基四氢喃基醚-乙酸乙烯酯共聚物,在每一个链中具有规则或不规则的序列,其可由下式之化学式I所代表:其中x是一从5至70范围的莫耳百分比;y是一从1至60范围的莫耳百分比;及z是一从0至40范围的莫耳百分比。2.一种制备乙烯基4-四氢喃基氧亚基-乙烯基四氢喃基醚-乙酸乙烯酯共聚物的方法,包括在氢氯酸的存在下反应一下式III之乙烯基4-羟基亚基-乙烯基醇-乙酸乙烯酯共聚物:其中a是一从5至70范围的莫耳百分比;b是一从1至60范围的莫耳百分比;及c是一从0至40范围的莫耳百分比,和溶于二甲基甲醯胺中之二氢喃,以藉由四氢喃基保护4-羟基亚基和醇基。3.如申请专利范围第2项之方法,其中该反应步骤是在选自乙酸,甲苯磺酸和硝酸的任一种酸代替氢氯酸存在下进行。4.一种乙烯基4-四氢喃氧亚基-乙烯基4-羟基亚基-乙烯基四氢喃醚-乙酸乙烯酯共聚物,具有规则或不规则序列,可由下式II所代表:其中m是一从1至50范围的莫耳百分比;n是一从5至60范围的莫耳百分比;o是一从1至60范围的莫耳百分比;及p是一从0至40范围的莫耳百分比。5.一种制备乙烯基4-四氢喃基氧亚基-乙烯基4-羟基亚基-乙烯基四氢喃醚-乙酸乙烯酯共聚物的方法,包括在氢氯酸的存在下反应一下式III之乙烯基4-羟基亚基-乙烯基醇-乙酸乙烯酯共聚物:其中a是一从5至70范围的莫耳百分比;b是一从1至60范围的莫耳百分比;及c是一从0至40范围的莫耳百分比,和溶于二甲基甲醯胺中之二氢喃,以藉由四氢喃基保护部份4-羟基亚基。6.如申请专利范围第5项之方法,其中该反应步骤是在选自乙酸,甲苯磺酸和硝酸的任一种酸代替氢氯酸存在下进行。7.一种光阻剂,包含乙烯基4-四氢喃氧亚基-乙烯基四氢喃基醚-乙酸乙烯酯共聚物,其可由下式之化学式I所代表:其中x是一从5至70范围的莫耳百分比;y是一从1至60范围的莫耳百分比;及z是一从0至40范围的莫耳百分比。8.一种光阻剂,包含乙烯基4-四氢喃氧亚基-乙烯基4-羟基亚基-乙烯基四氢喃醚-乙酸乙烯酯共聚物,可由下式II所代表:其中m是一从1至50范围的莫耳百分比;n是一从5至60范围的莫耳百分比;o是一从1至60范围的莫耳百分比;及p是一从0至40范围的莫耳百分比。