弹簧环微机械装置

摘要

一改良微机械装置包含一基材(104)、一悬吊在该基材上方之硬质可偏斜构件(302,314,326)、及至少一支撑在该基材上方及与该硬质可偏斜构件隔开之弹簧(328)。当该硬质可偏斜构件偏斜至接触该弹簧时，该弹簧阻止该硬质可偏斜构件之偏斜。该改良之微机械装置系藉着在一基材上制造至少一支撑结构(116)、制造至少一与该基材隔开及由该支撑结构之至少一个所支撑之弹簧、及制造一与该基材及弹簧二者隔开且藉着该支撑结构之至少一个所支撑之可偏斜构件所构成。该改良之微机械装置系可用于一投影显示系统中，其中一微镜片装置选择性地反射所入射光线，而由电连接至该微镜片装置之控制器所引导，及将该选择性反射之光线聚焦至一影像平面上。该微镜片装置包含一列阵之微镜片元件，每一元件包含：一基材、一由该基材所支撑之弹簧、及一由该基材所支撑及与该弹簧隔开之可偏斜硬质构件。该可偏斜硬质构件包含一偏向该弹簧之反射镜，该弹簧阻止该可偏斜硬质构件之偏斜。

主权项

1.一种改良式微机械装置包含:一基材;一悬吊在该基材上方之硬质可偏斜构件;及至少一支撑在该基材上方及与该硬质之可偏斜构件隔开之弹簧,当该硬质可偏斜构件之偏斜造成该硬质可偏斜构件及该弹簧间之接触时,可操作该弹簧以阻止该硬质可偏斜构件之偏斜。2.根据申请专利范围第1项之改良式微机械装置,可操作该弹簧以防止该基材及该硬质可偏斜构件间之接触。3.根据申请专利范围第1项之改良式微机械装置,该硬质之可偏斜构件能够藉着该弹簧克服阻力及接触该基材。4.根据申请专利范围第1项之改良式微机械装置,该弹簧包含一支撑在该基材上方之叶簧。5.根据申请专利范围第1项之改良式微机械装置,该弹簧包含一悬吊在该基材上二支撑之间且在该基材上方之挠性条带。6.根据申请专利范围第5项之改良式微机械装置,可操作该挠性条带以在与该可偏斜构件接触时偏斜。7.根据申请专利范围第5项之改良式微机械装置,可操作该挠性条带以在与该可偏斜构件接触时扭转。8.根据申请专利范围第1项之改良式微机械装置,该硬质之可偏斜构件包含一反射镜。9.根据申请专利范围第1项之改良式微机械装置,该硬质之可偏斜构件藉着至少一扭转梁支撑在该基材上方,及可操作该构件以绕着该扭转梁所形成之轴于二方向之任一方向中旋转。10.根据申请专利范围第9项之改良式微机械装置,该至少一弹簧包含:在该轴之每一侧面有至少一弹簧。11.根据申请专利范围第9项之改良式微机械装置,该弹簧包含一由至少二支撑结构所支撑之环形弹簧。12.根据申请专利范围第11项之改良式微机械装置,该环形弹簧另包含至少一由该环形弹簧伸出之瘤块。13.根据申请专利范围第11项之改良式微机械装置,该环形弹簧另包含至少一较薄片段,可操作该较薄片段以在该环形弹簧及该可偏斜构件间接触时扭转。14.根据申请专利范围第1项之改良式微机械装置,该硬质之可偏斜构件包含:一扭转梁轭;一反射镜支撑间隔通路;及一反射镜。15.根据申请专利范围第14项之改良式微机械装置,其中该基材及该扭转梁轭间之接触限制该硬质可偏斜构件之偏斜。16.根据申请专利范围第14项之改良式微机械装置,其中该基材及该反射镜间之接触限制该硬质可偏斜构件之偏斜。17.一种制造改良式微机械装置之方法,该方法包含下列步骤:在一基材上至少制造一支撑结构;至少制造一与该基材隔开及由该至少一支撑结构之至少一个所支撑之弹簧;及制造一与该基材及弹簧隔开且藉着该至少一支撑结构之至少一个所支撑之可偏斜构件,可操作该可偏斜构件以移入与该弹簧接触,及可操作该弹簧以阻止该可偏斜构件之进一步移动。18.根据申请专利范围第17项之方法,其中该至少一弹簧系制造于该可偏斜构件及该基材之间。19.根据申请专利范围第17项之方法,其中该可偏斜构件及该至少一弹簧系制造于至少一共用之支撑结构上。20.根据申请专利范围第17项之方法,制造至少一弹簧之步骤包含制造一由该至少一支撑结构之至少一个伸出之金属条带之步骤。21.根据申请专利范围第17项之方法,制造至少一弹簧之步骤包含制造一悬吊在该至少一支撑结构之至少二个间之金属条带之步骤。22.根据申请专利范围第17项之方法,制造至少一弹簧之步骤包含制造一悬吊在该至少一支撑结构之至少二个间之金属条带之步骤,该金属条制造成具有一较薄部份,可操作该较薄部份以在该金属条带及该可偏斜构件间接触时扭转。