PROCEDIMIENTO A BAJA TEMPERATURA PARA FABRICAR UN ARTICULO REVESTIDO CON OXIDO DE CINC.

摘要

Un procedimiento de fabricación de un artículo transparente revestido de óxido de cinc de resistividad baja que comprende: proporcionar un sustrato transparente móvil que tiene una superficie sobre la cual se ha de aplicar un revestimiento, estando la superficie a una temperatura de 400 ºC o menor; y Dirigir una mezcla de precursores formada en una cámara de mezclado de gas, comprendiendo la mezcla de precursores un compuesto que contiene cinc y uno o más compuestos que contienen oxígeno, fuera de la cámara de mezclado conjuntamente de gas hacia la superficie sobre la cual se va a depositar el revestimiento, habiéndose mezclado el compuesto que contiene cinc y las fuentes de oxígeno en la cámara de mezclado de gas durante un tiempo < 500 ms antes de que la mezcla de precursores salga de la caja de la cámara de mezclado y entre en contacto con la superficie del sustrato, de modo que se forma un revestimiento de óxido de cinc a presión atmosférica sobre la superficie a una velocidad de depósito de al menos 5 nm/segundo.