PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE CELULAS SOLARES EN TANDEM QUE COMPRENDEN CAPAS DE SILICIO MICROCRISTALINO.

摘要

Procedimiento para la fabricación de células solares en tándem de silicio amorfo (α-Si:H) y silicio microcristalino (μc-Si:H), que comprenden dos secuencias de capas p-i-n con la ayuda de un procedimiento PE-CVD, caracterizado porque - todas las capas de las secuencias de capas p-i-n son separadas en un proceso de una cámara y también en la deposición de la capa-i microcristalina; - la distancia entre los electrodos está entre 5 y 15 mm; - la distribución del gas se realiza a través de una entrada de gas de cabezal de ducha, que garantiza una distribución homogénea del gas sobre el sustrato; - se ajusta un flujo de gas SiH4 entre 0,01 y 3 sccm/cm 2 y un flujo de gas H2 > 0,3 sccm/cm 2 ; - se ajusta una presión de proceso entre 3 y 50 hPa; - se ajusta una temperatura de calefacción para el sustrato entre 50 y 280ºC; - y se ajusta una potencia HF entre 0,2 y 2 vatios/cm 2 .