发明名称 |
Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet, Keramik oder Halbleiterwerkstoff sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper |
摘要 |
<p>Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet, Keramik oder Halbleiterwerkstoff, beschichtet mit einer Al2O3-Schicht oder mit einem mehrlagigen Schichtsystem, das mindestens eine Al2O3-Schicht enthält, dadurch gekennzeichnet, dass die mittels CVD-hergestellte Al2O3-Schicht vollständig oder überwiegend aus einem Phasengemisch ausθ(theta)-Aluminiumoxid undγ(gamma)-Aluminiumoxid besteht.</p> |
申请公布号 |
DE102009028577(B4) |
申请公布日期 |
2012.02.16 |
申请号 |
DE20091028577 |
申请日期 |
2009.08.17 |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
HOEHN, MANDY, DR.;ENDLER, INGOLF, DR. |
分类号 |
C23C30/00;C04B41/85;C04B41/89;C23C16/40;C23C28/04 |
主分类号 |
C23C30/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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