发明名称 Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet, Keramik oder Halbleiterwerkstoff sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper
摘要 <p>Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet, Keramik oder Halbleiterwerkstoff, beschichtet mit einer Al2O3-Schicht oder mit einem mehrlagigen Schichtsystem, das mindestens eine Al2O3-Schicht enthält, dadurch gekennzeichnet, dass die mittels CVD-hergestellte Al2O3-Schicht vollständig oder überwiegend aus einem Phasengemisch ausθ(theta)-Aluminiumoxid undγ(gamma)-Aluminiumoxid besteht.</p>
申请公布号 DE102009028577(B4) 申请公布日期 2012.02.16
申请号 DE20091028577 申请日期 2009.08.17
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 HOEHN, MANDY, DR.;ENDLER, INGOLF, DR.
分类号 C23C30/00;C04B41/85;C04B41/89;C23C16/40;C23C28/04 主分类号 C23C30/00
代理机构 代理人
主权项
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