| 摘要 |
<p>웨이퍼 카세트(13)의 슬롯(14)내의 그의 원주방향 부분에서 유지된 복수개의 웨이퍼(15) 사이로부터 취출하기 위한 웨이퍼(15)의 위치와, 웨이퍼가 종방향 및 전후 방향으로 직접 취출되는 웨이퍼의 위치가 제 1 센서(16) 및 제 2 센서(17)에 의해 측정된다. 측정된 정보를 근거로하여, 연산부는 웨이퍼(15)의 휘어진 양을 계산하고, 이러한 휘어진 양의 결과에 따라, 웨이퍼 아암(18)은 하측 웨이퍼(15)와 접촉하지 않고 취출되도록 웨이퍼(15) 아래로 삽입될 수 있는지 없는지, 또한 웨이퍼가 상측 웨이퍼(15)와 접촉하지 않고 반송 아암(18)에 의해 들어 올려 인출될 수 있는지 없는지를 판정한다.</p> |
