发明名称 Verfahren und Verwendung einer Vorrichtung zur Erzeugung einer Schicht eines organischen Materials auf einem Substrat
摘要 Der Erfindung, die ein Verfahren und die Verwendung einer Vorrichtung zur Erzeugung einer Schicht eifft, wobei das Material auf das Substrat unter Verwendung eines Zwischenträgers aufgebracht und auf dem Substrat umgewandelt wird, liegt die Aufgabe zugrunde, die Herstellung von Schichten von Molekülen, insbesondere von mikrostrukturierten kristallinen Schichten, auf einem Substrat zu erleichtern und kostengünstiger zu gestalten und die Vielfalt einzusetzender Materialien zu erhöhen. Dies wird dadurch gelöst, das Material von dem Zwischenträger in einem Vakuum durch Energieeintrag aus einer Strahlung verdampft und dem Substrat abgeschieden wird, wobei das Material auf dem Substrat eine strahlungsinduzierte Umwandlung erfährt.
申请公布号 DE102010043204(A1) 申请公布日期 2012.02.16
申请号 DE201010043204 申请日期 2010.11.02
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 GROSS, HARALD, DR.;NEIDHARDT, JOERG, DR.;BURGHART, MARKUS
分类号 C23C14/24;C23C14/58 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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