摘要 |
Vorrichtung zur Bestimmung der Struktur einer spiegelnden Oberfläche eines Objekts (O), umfassend: – eine Musterfläche (4, 401, 402); – einen oder mehrere Bilderzeuger (301, 302, 7), mit denen auf der Musterfläche (4, 401, 402) Muster generierbar sind, wobei Bildpunkte auf der Musterfläche (4, 401, 402) jeweils über eine Musterkoordinate eines der Musterfläche (4, 401, 402) zugeordneten Koordinatensystems identifizierbar sind; – eine erste Messeinrichtung (5, 6) zur optischen Vermessung der Musterfläche (4), mit der basierend auf der optischen Vermessung die räumlichen Koordinaten von Bildpunkten auf der Musterfläche (4) in einem globalen Koordinatensystem ermittelbar sind, wodurch eine erste Zuordnung von Musterkoordinaten zu räumlichen Koordinaten der Bildpunkte geschaffen wird; – eine zweite Messeinrichtung zur optischen Vermessung der spiegelnden Oberfläche eines Objekts (O) basierend auf Musterreflexion mit Mitteln, um auf der Musterfläche (4, 401, 402) eine Anzahl von Mustern zu generieren, mit einem oder mehreren Bildaufnehmern (2), um die an...
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