| 发明名称 |
GAS DISCHARGE STRUCTURE, AND DEVICE AND METHOD FOR PLASMA PROCESSING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20120014210(A) |
申请公布日期 |
2012.02.16 |
| 申请号 |
KR20117030126 |
申请日期 |
2010.05.24 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
MATSUDA RYUICHI;YOSHIDA KAZUTO |
| 分类号 |
C23C16/44;B01J3/02;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
