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发明名称
Apparatus for plasma processing
摘要
申请公布号
KR101111062(B1)
申请公布日期
2012.02.16
申请号
KR20080125973
申请日期
2008.12.11
申请人
发明人
分类号
H05H1/24;H05H1/30;H05H1/36
主分类号
H05H1/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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