摘要 |
<p>Optische Anordnung (10) mit einem Laser (1), wobei im Strahlengang des aus dem Laser (1) austretenden Laserstrahls (2) zwischen dem Laser (1) und einem fokussierenden Element (4) derart eine Amplitudenmaske (3) eingebracht ist, dass der Laserstrahl (2) so geführt wird, dass die Beaufschlagung der Amplitudenmaske (3) durch den Laserstrahl (2) vor der Fokussierung des Laserstrahls im fokussierenden Element (4) erfolgt, wobei die Amplitudenmaske (3) genau einen Ring (31) aufweist, der konzentrisch um die Achse der Amplitudenmaske (3) angeordnet ist und der einen inneren ÖffnungswinkelΘi von 1° bis 25° und einen äußeren ÖffnungswinkelΘa von mindestens 60° aufweist, wobei der Ring (31) eine Transmission von 0% bis 60% und die Bereiche (30, 32) auf der Amplitudenmaske (3) außerhalb des Rings (31) eine Transmission zwischen 80% und 100% aufweisen, abgesehen von einem sich außerhalb des Laserstrahls (2) befindlichen Rand (39) der Amplitudenmaske (3).</p> |
申请人 |
KARLSRUHER INSTITUT FUER TECHNOLOGIE |
发明人 |
LEDERMANN, ALEXANDRA;VON FREYMANN, GEORG, DR.;WEGENER, MARTIN, PROF. DR. |