| 发明名称 |
CORROSION PROTECTION AND LUBRICATION OF MEMS DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20120014200(A) |
申请公布日期 |
2012.02.16 |
| 申请号 |
KR20117029431 |
申请日期 |
2010.05.11 |
| 申请人 |
SPATIAL PHOTONICS, INC. |
发明人 |
NOVOTNY VLAD;MATUS GABRIEL |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C28/00;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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