| 发明名称 |
High resistivity silicon carbide single crystal and method of producing it |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002347705(A1) |
申请公布日期 |
2003.05.12 |
| 申请号 |
AU20020347705 |
申请日期 |
2002.10.28 |
| 申请人 |
OKMETIC OYJ |
发明人 |
ALEXANDRE ELLISON;BJORN MAGNUSSON;NGUYEN TIEN SON;ERIK JANZEN |
| 分类号 |
C30B29/36;C30B25/00;H01L21/04;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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