静电驱动电容检测三轴微陀螺仪

摘要

本发明涉及一种微机电技术领域的静电驱动电容检测三轴微陀螺仪，它包括一个具有三个振动梁的等边三角形振子，三个与振动梁长度方向平行且具有间隙的驱动电极，六个与振动梁长度方向平行且具有间隙的侧面检测电极，三个与基底表面平行且和三角形振子表面具有间隙的上基板检测电极，上基板和下基板。本发明利用三角形振子的特殊振动模态，采用静电力驱动，利用检测电极和三角形振子间的电容变化来检测三个轴向的角速度。本发明采用MEMS微细加工工艺，结构简单，能实现三轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高，抗冲击性强，在恶劣的环境下能够很好的工作。

主权项

一种静电驱动电容检测三轴微陀螺仪，其特征在于：它包括一个具有三个振动梁的等边三角形振子；三个与振动梁长度方向平行且具有间隙的驱动电极；六个与振动梁长度方向平行且具有间隙的侧面检测电极；三个与基底表面平行且和三角形振子表面具有间隙的上基板检测电极；以及上基板和下基板。