| 发明名称 | 一种制作聚酰亚胺有机镂空薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种制备聚酰亚胺镂空薄膜的方法，该方法包括：将衬底清洗，烘干；在衬底表面旋涂一定厚度的聚酰亚胺胶；对衬底进行热处理；冷却后，将衬底装入密封良好的卡具，放入酸性腐蚀液中腐蚀；腐蚀完毕，取出镂空的衬底，清洗，烘干。本发明提供的制备聚酰亚胺镂空薄膜的方法，具有成本低、成品率高、效率高等显著的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101445614B | 申请公布日期 | 2012.02.15 |
| 申请号 | CN200710178315.5 | 申请日期 | 2007.11.28 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 朱效立;谢常青;叶甜春;刘明 |
| 分类号 | C08J5/18(2006.01)I;C08L79/08(2006.01)I;C08J9/26(2006.01)I | 主分类号 | C08J5/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 一种制备聚酰亚胺镂空薄膜的方法，其特征在于，该方法包括：将衬底清洗，烘干；在衬底表面旋涂厚度为1至几十微米的聚酰亚胺胶；对衬底进行热处理；冷却后，将衬底装入密封良好的卡具，放入酸性腐蚀液中腐蚀；腐蚀完毕，取出镂空的衬底，清洗，烘干。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||