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发明名称 DRIVE BELT TENSION CONTROL APPARATUS IN SEMICONDUCTOR WAFER FABRICATION
摘要
申请公布号 KR20060030434(A) 申请公布日期 2006.04.10
申请号 KR20040079285 申请日期 2004.10.05
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JUNG IN
分类号 B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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