发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS APPLIED MAO COATING
摘要
申请公布号 KR100572970(B1) 申请公布日期 2006.04.24
申请号 KR20030040813 申请日期 2003.06.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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