| 主权项 |
1.一种晶圆清洗设备之清洗刷夹持装置,适用于夹 持一呈长条状的清洗刷,该清洗刷夹持装置包含: 一第一夹持组,可分离地与该清洗刷之一端套接, 并包括一中空的第一套筒、一设置在该第一套筒 内的第一轴承单元,一部分穿置于该第一轴承单元 中并可相对该第一套筒旋转的第一心轴,及一套设 于该第一心轴上的第一导筒,该第一轴承单元具有 一呈中空的第一套环,及二间隔设置在该第一套环 内的第一轴承;及 一第二夹持组,可分离地与该清洗刷之另一端套接 在一起,并包括一中空的第二套筒、一设置于该第 二套筒内的第二轴承单元、一部分穿置于该第二 轴承单元中并可相对该第二套筒旋转的第二心轴, 及一套设于该第二心轴上的第二导筒单元,该第二 轴承单元具有一以非金属材质制成并且是一体成 型的第二套环,及二间隔设置在该第二套环内的第 二轴承,该第二导筒单元具有一内环件,一可相对 该内环件移动的外环件,及一设置在该外环件与内 环件之间的弹性件。 2.依据申请专利范围第1项所述晶圆清洗设备之清 洗刷夹持装置,其中,该第一轴承单元之第一套环 是工程塑胶之材质所制成。 3.依据申请专利范围第1项所述晶圆清洗设备之清 洗刷夹持装置,其中,该第二轴承单元之第二套环 是工程塑胶之材质所制成。 4.依据申请专利范围第2或3项所述晶圆清洗设备之 清洗刷夹持装置,所述之工程塑胶是聚甲醛(POM)。 图式简单说明: 图1是一剖面示意图,说明习知晶圆清洗设备之清 洗刷夹持装置,夹设一清洗刷以对一晶圆进行清洗 作业; 图2是一剖面示意图,说明本新型晶圆清洗设备之 清洗刷夹持装置之较佳实施例; 图3是一未完整之剖面分解图,说明一第一夹持组 之构成组件;及 图4是一未完整之剖面分解图,说明一第二夹持组 之构成组件。 |
